萊寶真空推出針對諸如平板顯示器等應(yīng)用的薄膜制備工藝優(yōu)化的多種真空系統(tǒng)及附件。在1 月 27 日-29 日的韓國半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)展覽會上，歐瑞康萊寶真空邀請客戶更多地了解這些富含創(chuàng)新技術(shù)的 DRYVAC 系統(tǒng)。
提供*高的抽速和*低的運行成本 (CoO) 是我們的使命。我們通過將高效抽控裝置與可選節(jié)能程序（如運轉(zhuǎn)模式選擇）相結(jié)合完成這一使命。
歐瑞康萊寶真空引領(lǐng)用于各類鍍膜應(yīng)用的整套真空解決方案的開發(fā)。萊寶在理解鍍膜技術(shù)要求和您的業(yè)務(wù)支持需求方面的專長是極為出眾的。
基于對用戶需求的深度理解，我們能夠提供一系列優(yōu)化的標(biāo)準(zhǔn)組件，它們具有緊湊的結(jié)構(gòu)、*高的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和出色的可靠性。這些結(jié)構(gòu)緊湊和智能化的真空解決方案由高真空泵、羅茨泵/干泵機組以及控制裝置組成。
由多臺DRYVAC 干式螺桿泵與 RUVAC WH 系列羅茨泵組合而成的真空系統(tǒng)是平板顯示應(yīng)用的*佳解決方案，例如：用于進出片室的快速抽空、過渡室和薄膜沉積室的抽空。在同類泵中，它們提供*快的抽空時間和*高的抽速。通過標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計，歐瑞康萊寶真空其使所提供系統(tǒng)具有極高的用戶友好性。用戶還可得益于諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水等的標(biāo)準(zhǔn)化接口、方便的設(shè)備維護及優(yōu)化的備泵管理。
該系統(tǒng)在以下主要應(yīng)用中表現(xiàn)優(yōu)異：
/過渡室抽空
陣列濺射鍍膜TSPT /彩色濾光片濺射鍍膜 FSPT /液晶盒制備
/蒸發(fā)鍍膜/ ...
TFT-PECVD /TFE-PECVD
VCD 光刻膠涂布
